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东莞市汇成真空有限公司

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真空镀膜机真空腔体制作事项

发布日期:2014-10-30

  真空镀膜机真空腔体是保持内部为真空状态的容器,真空腔体的制作要考虑容积、材质和形状。
  
  不锈钢是目前非常高真空系统的主要结构材料。其中300系列不锈钢(表1)是含Cr10%~20%的低碳钢,具有优良的抗腐蚀性、放气率低、无磁性、焊接性好、导电率和导热率低、能够在-270~900℃工作等优点,在高真空和非常高真空系统中,应用广泛。
  
  近年来,为了降低真空腔体的制作成本,采用铸造铝合金来制作腔体也逐渐普及。另外,采用钛合金来制作特殊用途真空腔体的例子也不少。
  
  为了减小腔体内壁的表面积,通常用喷砂或电解抛光的方式来获得平坦的表面。非常高真空系统的腔体,更多的是利用电解抛光来进行表面处理。
  
  焊接是真空镀膜机真空腔体制作中较重要的环节之一。为避免大气中熔化的金属和氧气发生化学反应从而影响焊接质量,通常采用氩弧焊来完成焊接。氩弧焊是指在焊接过程中向钨电较周围喷射保护气体氩气,以防止熔化后的高温金属发生氧化反应。
  
  非常高真空腔体的氩弧焊接,原则上必须采用内焊,即焊接面是在真空一侧,以免存在死角而发生虚漏。
  
  真空镀膜机真空腔体的内壁表面吸附大量的气体分子或其他农业生产体系物,成为影响真空度的放气源。为实现非常高真空,要对腔体进行150~250℃的高温烘烤,以促使材料表面和内部的气体尽快放出。烘烤方式有在腔体外壁缠绕加热带、在腔体外壁固定铠装加热丝或直接将腔体置于烘烤帐篷中。比较经济简单的烘烤方法是使用加热带,加热带的外面再用铝箔包裹,防止热量散失的同时也可使腔体均匀受热。
  
  东莞汇成真空十多年来有经验从事各种真空镀膜应用设备制造,不断引进国外先进的真空镀膜设备,多年来致力于研发和生产真空镀膜机,以较新技术不断制造出满足市场需要的真空电镀设备,为客户提供定制化的工艺解决方案和机器。
  
  

 

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